光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内的空气中微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的密闭空间。
光学微电子净化工程又名无尘室或洁净室，目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。
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